基于 PCTFE 的精密真空泵液体。不燃·化学惰性，用于 半导体等离子刻蚀·CVD、反应性气体处理、制药 cGMP 干式真空泵。 相较 PFPE，在 Lewis 酸攻击下失重 0%。韩国现货供应。
干式（无油）真空泵于 1980 年代在半导体产业开发，1990 年代引入化学·制药工艺。 采用多级罗茨·螺杆·爪式压缩机方式，其核心在于无需辅助液体即可防止产品污染 （cGMP 制药工厂的必备要求）。
此类泵（如 SIHIdry、TAIKO、Northey、Busch COBRA 系列）的核心润滑·密封部位， 需要能耐受工艺气体的化学惰性液体。HaloVac 是在该领域经过 60 余年 验证的 PCTFE 液体。
氧气·氯气·一氧化二氮工况。可耐受以下反应性介质：
PCTFE vs PFPE — 在 Lewis 酸(AlCl₃)耐受性试验中，HaloVac 失重 0%， PFPE 损失 15.9~17.0%。在半导体刻蚀·强氧化环境中比 PFPE 更稳定， 成本也更经济。
数字越大粘度越高。根据真空度·温度条件进行选型。
| 项目 | HaloVac 60 | HaloVac 100 | HaloVac 125 | HaloVac 190 |
|---|---|---|---|---|
| 密度 @ 20°C (g/cm³) | 1.95 | 1.96 | 1.96 | 1.97 |
| 粘度 @ 20°C (cSt) | 230 | 438 | 582 | 969 |
| 粘度 @ 40°C (cSt) | 52 | 86 | 107 | 161 |
| 粘度 @ 100°C (cSt) | 4.9 | 6.4 | 7.2 | 9.1 |
| 倾点 (°C) | -27 | -12 | -10 | -6 |
| 蒸气压 @ 25°C (mmHg) | 0.0016 | 0.0004 | 0.0003 | 0.0001 |
| 闪点 | 无（不燃）— 全牌号 | |||
全牌号化学惰性·不燃·低蒸气压。兼容金属·塑料·弹性体。准确规格请以 总部 TDS 及 Wholesale Industry 技术销售团队为准。使用温度上限等详细条件请咨询。
告知泵型号·工艺气体·真空度·温度条件，我们将回复合适牌号与样品·报价。 总部正品直供，提供 TDS/MSDS，韩国现货。
