PCTFE 기반 정밀 진공펌프 유체. 비가연성·화학불활성으로 반도체 플라즈마 식각·CVD, 반응성 가스 처리, 제약 cGMP 건식 진공펌프에 사용됩니다. PFPE 대비 Lewis acid 공격에 무게손실 0%. 국내 재고 공급.
건식(무급유) 진공펌프는 1980년대 반도체 산업에서 개발되어 90년대 화학·제약 공정에 도입됐습니다. 다단 루츠·스크류·클로 컴프레서 방식으로, 보조 액체 없이 제품 오염을 방지하는 것이 핵심입니다 (cGMP 제약 플랜트 필수 요건).
이런 펌프(예: SIHIdry, TAIKO, Northey, Busch COBRA 계열)의 핵심 윤활·실링부에는 공정 가스에 견디는 화학불활성 유체가 필요합니다. HaloVac은 60년 이상 이 영역에서 검증된 PCTFE 유체입니다.
산소·염소·아산화질소 서비스. 다음 반응성 매체에 견딥니다:
PCTFE vs PFPE — Lewis acid(AlCl₃) 내성 시험에서 HaloVac 무게손실 0%, PFPE는 15.9~17.0% 손실. 반도체 식각·강산화 환경에서 PFPE보다 안정적이고 비용도 경제적입니다.
숫자가 클수록 고점도. 진공도·온도 조건에 맞춰 선정합니다.
| 항목 | HaloVac 60 | HaloVac 100 | HaloVac 125 | HaloVac 190 |
|---|---|---|---|---|
| 밀도 @ 20°C (g/cm³) | 1.95 | 1.96 | 1.96 | 1.97 |
| 점도 @ 20°C (cSt) | 230 | 438 | 582 | 969 |
| 점도 @ 40°C (cSt) | 52 | 86 | 107 | 161 |
| 점도 @ 100°C (cSt) | 4.9 | 6.4 | 7.2 | 9.1 |
| 유동점 (°C) | -27 | -12 | -10 | -6 |
| 증기압 @ 25°C (mmHg) | 0.0016 | 0.0004 | 0.0003 | 0.0001 |
| 인화점 | 없음 (비가연성) — 전 등급 | |||
전 등급 화학불활성·비가연성·저증기압. 금속·플라스틱·엘라스토머 호환. 정확한 사양은 본사 TDS 및 Wholesale Industry 기술 영업팀 확인. 사용 온도 한계 등 상세 조건은 문의 바랍니다.
펌프 모델·공정 가스·진공도·온도 조건을 알려주시면 적합 등급과 샘플·견적을 회신드립니다. 본사 정품 직공급, TDS/MSDS 제공, 국내 재고.
