PCTFE 기반 정밀 진공펌프 유체. 비가연성·화학불활성으로 반도체 플라즈마 식각·CVD, 반응성 가스 처리, 제약 cGMP 건식 진공펌프에 사용됩니다. Lewis acid(AlCl₃) 노출 환경에서 무게손실 0%(본사 시험 자료 기준, 시험 조건은 확인 중). 국내 재고 보유 — 즉시 출고 가능합니다.
건식(무급유) 진공펌프는 1980년대 반도체 산업에서 개발되어 90년대 화학·제약 공정에 도입됐습니다. 다단 루츠·스크류·클로 컴프레서 방식으로, 보조 액체 없이 제품 오염을 방지하는 것이 핵심입니다 (cGMP 제약 플랜트 필수 요건).
이런 펌프(예: SIHIdry, TAIKO, Northey, Busch COBRA 계열)의 핵심 윤활·실링부에는 공정 가스에 견디는 화학불활성 유체가 필요합니다. HaloVac은 60년 이상 이 영역에서 검증된 PCTFE 유체입니다.
산소·염소·아산화질소 서비스. 다음 반응성 매체에 견딥니다:
Lewis acid 내성 — Lewis acid(AlCl₃) 내성 시험에서 HaloVac 무게손실 0%, PFPE는 15.9~17.0% 손실(본사 시험 자료 기준, 시험 조건 확인 중). 이 항목에 한해 반도체 식각·강산화 환경에서 유리하고 비용도 경제적입니다.
숫자가 클수록 고점도. 진공도·온도 조건에 맞춰 선정합니다.
| 항목 | HaloVac 60 | HaloVac 100 | HaloVac 125 | HaloVac 190 |
|---|---|---|---|---|
| 밀도 @ 20°C (g/cm³) | 1.95 | 1.96 | 1.96 | 1.97 |
| 점도 @ 20°C (cSt) | 230 | 438 | 582 | 969 |
| 점도 @ 40°C (cSt) | 52 | 86 | 107 | 161 |
| 점도 @ 100°C (cSt) | 4.9 | 6.4 | 7.2 | 9.1 |
| 유동점 (°C) | -27 | -12 | -10 | -6 |
| 증기압 @ 25°C (mmHg) | 0.0016 | 0.0004 | 0.0003 | 0.0001 |
| 인화점 | 없음 (비가연성) — 전 등급 | |||
전 등급 화학불활성·비가연성·저증기압. 금속·플라스틱·엘라스토머 호환. 정확한 사양은 본사 TDS 및 Wholesale Industry 기술 영업팀 확인. 사용 온도 한계 등 상세 조건은 문의 바랍니다.
우열이 아니라 용도의 문제입니다. Wholesale Industry는 두 계열을 모두 공급합니다.
| 조건 | PCTFE (HaloVac 오일) | PFPE |
|---|---|---|
| 산소·염소·반응성 가스 서비스 | 권장 | 조건 검토 |
| Lewis acid(AlCl₃) 노출 환경 | 권장 — 본사 시험 자료 기준 | 무게손실 보고됨 |
| 강산·강산화 매체 | 권장 | 조건 검토 |
| 고온 장시간 운전 | 등급별 확인 | 권장 |
| 초저증기압·고진공 | 등급별 확인 | 권장 |
| 식품·의약 접촉(NSF H1 등) | 해당 없음 | 해당 등급 있음 |
저희는 PCTFE 계열(HaloVac 오일·그리스, Halocarbon 오일)과 PFPE 계열(KF 오일·그리스, AERO, KFTM 등)을 모두 취급합니다. 공정 조건(매체·온도·진공도·재질)을 알려주시면 계열부터 등급까지 선정해 회신드립니다.
오일 외에 진공 그리스 라인이 별도로 있습니다.
펌프 모델·공정 가스·진공도·온도 조건을 알려주시면 적합 등급과 샘플·견적을 회신드립니다. 본사 정품 직공급, TDS/MSDS 제공, 국내 재고 보유.
