국내 반도체 Fab
한국은 세계 메모리 반도체 점유율 1위, 파운드리 2위 시장입니다. 주요 Fab 3곳이 경기·충청권에 집중되어 있고, 소재·화학 공급망은 점점 국산화·다변화되고 있습니다. Halocarbon은 포토리소그래피 케미컬과 VPS 유체, 정밀 캘리브레이션 영역에서 국내 공정 고도화에 직접 맞닿아 있습니다.
반도체 공정의 공통 병목
- EUV/DUV 포토리소 공정의 ppb 수준 금속 불순물 관리
- VPS(Vapor Phase Soldering) 열 프로파일 재현성
- 고진공 펌프 오일의 반응성 가스 노출 안전성
- 계측기 기준 유체의 장기 안정성 · 휘발 최소화
투입 제품군
- Photoresist chemicals — 고순도 불소 빌딩블록 (NDA 기반)
- HaloVac® 140 / 190 / 250 — VPS 및 열 프로세싱 유체
- HaloVac® 25 / PCTFE oils — 반응성 가스 펌프 오일
- Calibration Fluid 0.8 — 저온 계측 · 교정
기대 성과 지표
- 포토리소 결함률 저감 — 금속 이온 관리 강화
- VPS 솔더링 열 프로파일 재현성 — 로트 간 ΔT 최소화
- 펌프 오일 교환 주기 연장 — 반응성 가스 환경 안전
- 계측기 기준값 장기 드리프트 최소화
한국 고객 표준 플로우
- 1단계 — NDA 체결 및 기술 상담 (1~2주)
- 2단계 — 소량 샘플 Fab 평가 (4~8주)
- 3단계 — 1차 정식 공급 (파일럿 라인)
- 4단계 — 양산 확대 · 재고 계약
EUV/DUV 공정의 포토레지스트 케미컬은 실제로 공급 가능한가요?
네, 가능합니다. 단 고순도 등급·스펙·NDA 조건이 고객사별로 다르므로 초기 상담에서 공정 조건과 불순물 허용치를 확인한 뒤 본사 R&D와 연결해 맞춤 사양을 협의합니다.
소량 샘플로 우선 평가 가능할까요?
가능합니다. VPS용 HaloVac® 시리즈 및 Calibration Fluid는 소량 샘플(500 mL 단위) 제공이 표준이며, 포토레지스트 계열은 NDA 후 별도 협의 대상입니다.
본사 응용 엔지니어와 직접 기술 미팅이 가능한가요?
가능합니다. NDA 체결 후 화상 미팅을 주선하며, 한국어 통역 지원이 필요한 경우 Wholesale Industry 기술팀이 동석합니다.
ppb 수준 금속 불순물 관리 COA가 발급되나요?
포토레지스트 케미컬·고순도 빌딩블록은 ppb 단위 금속 이온(Na, K, Fe, Cu 등) 분석 결과가 포함된 COA를 로트별 발급합니다. 고객사 내부 QA 요구치에 맞춘 추가 원소 추적도 가능합니다.
VPS 평가 시 열 프로파일 측정 · 해석 지원이 가능한가요?
HaloVac® 시리즈의 비등점·기화 엔탈피·ΔT 프로파일 데이터를 본사가 제공하며, 고객 장비에서의 실측 프로파일 해석은 본사 응용 엔지니어 연계로 지원합니다.
기존 진공 펌프 오일에서 PCTFE로 전환 시 세정 절차는?
탄화수소계 오일과 PCTFE 혼합은 금지이며, 전환 시 전용 세정 플루이드로 2~3회 플러싱 후 완전 배출을 확인하는 표준 절차를 권장합니다. 체크리스트 문서를 별도로 제공합니다.
